子孔径拼接技术在长平晶计量中的应用研究

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子孔径拼接技术在长平晶计量中的应用研究

光学测量与计量、光学材料、光学工艺 | 更新时间：2025-09-01

- 子孔径拼接技术在长平晶计量中的应用研究
- The application research of sub-aperture stitching in long optical flat testing
- 光学技术 2006年32卷第S1期页码：501-503
- 作者机构：
  
  1:南京理工大学电子工程与光电技术学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2006
- 稿件说明：
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何勇, 王青, 尚博, 等. 子孔径拼接技术在长平晶计量中的应用研究[J]. 光学技术, 2006,32(S1):501-503.

The application research of sub-aperture stitching in long optical flat testing[J]. 2006, 32(S1): 501-503.
何勇, 王青, 尚博, 等. 子孔径拼接技术在长平晶计量中的应用研究[J]. 光学技术, 2006,32(S1):501-503. DOI：

The application research of sub-aperture stitching in long optical flat testing[J]. 2006, 32(S1): 501-503. DOI：

研究子孔径拼接在长平晶测试中的应用。讨论了子孔径拼接的基本原理

建立了子孔径拼接模型

确定了进行长平晶拼接测试的基本算法。根据最小二乘法的基本原理

编制了子孔径拼接数据处理程序

通过使用该程序

可以有效地修正测试过程中产生的倾斜量。进行了长平晶拼接检测实验

拼接结果与全孔径检测结果进行了比较

结果表明

该程序能够满足长平晶的检测要求。

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