基于相位相关与块匹配的纳米精度微器件平面动态测量

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仪器、测量与计量 | 更新时间：2025-09-01

- 基于相位相关与块匹配的纳米精度微器件平面动态测量
- Plane dynamic measurement based on phase correlation and block matching with nano-resolution
- 光学技术 2007年第2期页码：269-272
- 作者机构：
  
  1. 1:北京化工大学信息科学与技术学院
  2. 2:北京化工大学信息科学与技术学院
  3. 3:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
  4. 4:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2007
- 稿件说明：
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金翠云, 王建林, 靳世久, 等. 基于相位相关与块匹配的纳米精度微器件平面动态测量[J]. 光学技术, 2007,(2):269-272.

Plane dynamic measurement based on phase correlation and block matching with nano-resolution[J]. 2007, (2): 269-272.
金翠云, 王建林, 靳世久, 等. 基于相位相关与块匹配的纳米精度微器件平面动态测量[J]. 光学技术, 2007,(2):269-272. DOI：

Plane dynamic measurement based on phase correlation and block matching with nano-resolution[J]. 2007, (2): 269-272. DOI：

为测量MEMS谐振器周期运动过程中各个时刻的运动特性及其动态特性参数

结合微器件的特征

利用光学的方法对MEMS器件进行了运动分析。提出了基于相位相关与块匹配相结合的运动检测技术

并对MEMS器件的运动图像序列做了分析与处理

得到了其动态特性参量

为MEMS器件的设计提供了重要参考。实验结果表明

该方法具有较好的测量精度和测量速度

测量重复性可达到44nm。

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