用空心阴极光源标定极紫外-软X射线单色仪

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光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 用空心阴极光源标定极紫外-软X射线单色仪
- Wavelength calibration of EUV and soft X-ray monochromator measured by hollow cathode source
- 光学技术 2007年第3期页码：370-372
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
  2. 2:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
  3. 3:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
  4. 4:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金项目(60223003)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2007
- 稿件说明：
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王丽辉, 李敏, 王孝坤, 等. 用空心阴极光源标定极紫外-软X射线单色仪[J]. 光学技术, 2007,(3):370-372.

Wavelength calibration of EUV and soft X-ray monochromator measured by hollow cathode source[J]. 2007, (3): 370-372.
王丽辉, 李敏, 王孝坤, 等. 用空心阴极光源标定极紫外-软X射线单色仪[J]. 光学技术, 2007,(3):370-372. DOI：

Wavelength calibration of EUV and soft X-ray monochromator measured by hollow cathode source[J]. 2007, (3): 370-372. DOI：

为了使单色仪在极紫外-软X射线波段准确地进行波长扫描

需要对单色仪进行波长标定。单色仪的所有组件都放置在罗兰圆的圆周上

改变出射狭缝在罗兰圆上的位置

在单色仪的出射狭缝处就可以得到相应波长的单色光。通过测量标准He空心阴极光源的发射光谱

对Mcpherson247单色仪进行波长标定

并对实验结果进行了分析

得出在1~100nm波段内单色仪标定精度为±0.017nm~±0.097nm。

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