柔性铰链微位移机构在可调谐F-P滤波器中的应用研究

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光纤光学与光通信 | 更新时间：2025-09-01

- 柔性铰链微位移机构在可调谐F-P滤波器中的应用研究
- Study on application of flexible hinge micro-displacement mechanism in tunable F-P filters
- 光学技术 2007年第3期页码：409-411
- 作者机构：
  
  1. 1:清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室
  2. 2:清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室
  3. 3:清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室
  4. 4:清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室
- 作者简介：
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  中图分类号：
- 纸质出版：2007
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王明明, 张连清, 李营, 等. 柔性铰链微位移机构在可调谐F-P滤波器中的应用研究[J]. 光学技术, 2007,(3):409-411.

Study on application of flexible hinge micro-displacement mechanism in tunable F-P filters[J]. 2007, (3): 409-411.
王明明, 张连清, 李营, 等. 柔性铰链微位移机构在可调谐F-P滤波器中的应用研究[J]. 光学技术, 2007,(3):409-411. DOI：

Study on application of flexible hinge micro-displacement mechanism in tunable F-P filters[J]. 2007, (3): 409-411. DOI：

分析了由于反射镜倾斜导致的可调谐F-P(Fabry-Perot)滤波器失谐。设计了一种柔性铰链式微位移机构

由压电陶瓷驱动

采用平行四连杆机构进行传动导向。采用该机构驱动F-P腔镜扫描克服了直接使用压电陶瓷带来的腔镜倾斜问题。该机构已应用于可调谐F-P滤波器中

输出信号多周期峰值幅度均匀

重复性好。

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