高精度大口径平面镜瑞奇-康芒定量检测的精度影响因素分析

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仪器、测量与计量 | 更新时间：2025-09-01

- 高精度大口径平面镜瑞奇-康芒定量检测的精度影响因素分析
- Analysis of the influencing factors on Ritchey-Common quantitative measurement for large high precision flat
- 光学技术 2007年第4期页码：632-634
- 作者机构：
  
  1. 1:广东海洋大学
  2. 2:中国科学院光电技术研究所
  3. 3:中国科学院光电技术研究所
  4. 4:中国科学院光电技术研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2007
- 稿件说明：
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田秀云, 吴时彬, 伍凡, 等. 高精度大口径平面镜瑞奇-康芒定量检测的精度影响因素分析[J]. 光学技术, 2007,(4):632-634.

Analysis of the influencing factors on Ritchey-Common quantitative measurement for large high precision flat[J]. 2007, (4): 632-634.
田秀云, 吴时彬, 伍凡, 等. 高精度大口径平面镜瑞奇-康芒定量检测的精度影响因素分析[J]. 光学技术, 2007,(4):632-634. DOI：

Analysis of the influencing factors on Ritchey-Common quantitative measurement for large high precision flat[J]. 2007, (4): 632-634. DOI：

针对前人的数学模型

对瑞奇角、旋转角和系统波像差这几个主要精度影响因素进行了仿真分析。结果表明:当瑞奇角的测量误差控制在0.5°以内时

对测量结果影响很小;由于平面镜的面形误差是连续和旋转对称的

所以旋转角测量误差对测量结果影响很小;当系统波像差系数的测量误差|ΔWn

m|≥0.05λ时会影响拟合精度。此仿真结果为提高大口径平面镜检测精度提供了理论依据。

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