一种可实现薄膜厚度在线测量的方法

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一种可实现薄膜厚度在线测量的方法

光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 一种可实现薄膜厚度在线测量的方法
- An optical method of online measurement for the thickness of thin films
- 光学技术 2007年第3期页码：447-449
- 作者机构：
  
  1. 1:大连民族学院光电子技术研究所
  2. 2:辽宁师范大学物理系
  3. 3:大连民族学院光电子技术研究所
  4. 4:大连民族学院光电子技术研究所,大连,116600
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  大连民族学院人才引进基金资助项目(20036205)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2007
- 稿件说明：
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宋敏, 郑亚茹, 卢永军, 等. 一种可实现薄膜厚度在线测量的方法[J]. 光学技术, 2007,(3):447-449.

An optical method of online measurement for the thickness of thin films[J]. 2007, (3): 447-449.
宋敏, 郑亚茹, 卢永军, 等. 一种可实现薄膜厚度在线测量的方法[J]. 光学技术, 2007,(3):447-449. DOI：

An optical method of online measurement for the thickness of thin films[J]. 2007, (3): 447-449. DOI：

介绍了一种测量固体薄膜厚度的光学方法。该方法具有测量速度快、可实现在线测量等特点。为解决薄膜生产过程中厚度在线检测问题

构造了一套软硬件实验系统

利用该系统进行实验的结果表明:在10~100μm厚度范围

测量误差小于10%

满足实际生产需要。

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