退火对ZnO薄膜的结构和光学性质的影响

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退火对ZnO薄膜的结构和光学性质的影响

薄膜光学 | 更新时间：2025-09-01

- 退火对ZnO薄膜的结构和光学性质的影响
- Influence of annealing on the microstructure and photoluminescence of ZnO films
- 光学技术 2006年32卷第S1期页码：595-597
- 作者机构：
  
  1. 1:第二炮兵工程学院实验中心
  2. 2:第二炮兵士官学校
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2006
- 稿件说明：
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朱桂芳, 徐军, 孔令剑, 等. 退火对ZnO薄膜的结构和光学性质的影响[J]. 光学技术, 2006,32(S1):595-597.

Influence of annealing on the microstructure and photoluminescence of ZnO films[J]. 2006, 32(S1): 595-597.
朱桂芳, 徐军, 孔令剑, 等. 退火对ZnO薄膜的结构和光学性质的影响[J]. 光学技术, 2006,32(S1):595-597. DOI：

Influence of annealing on the microstructure and photoluminescence of ZnO films[J]. 2006, 32(S1): 595-597. DOI：

采用射频磁控溅射法在Si衬底上制备了高c轴择优取向的ZnO薄膜

研究了退火对ZnO薄膜的晶粒尺度和发光光谱的影响。XRD结果显示退火可以改善ZnO薄膜的结构特性

PL谱结果显示退火对ZnO薄膜的发光强度产生很大影响。

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