基于F-P腔法的纳米精度非线性误差校准系统研究

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光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 基于F-P腔法的纳米精度非线性误差校准系统研究
- The study on nonlinear error calibrating system based on Fabry-Parot interferometer with an accuracy of nanometer order
- 光学技术 2007年第5期页码：748-750
- 作者机构：
  
  1. 1:清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室
  2. 2:清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室
  3. 3:清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室
  4. 4:清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(50410479)和(50575116)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2007
- 稿件说明：
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孙文科, 马骥驰, 李岩, 等. 基于F-P腔法的纳米精度非线性误差校准系统研究[J]. 光学技术, 2007,(5):748-750.

The study on nonlinear error calibrating system based on Fabry-Parot interferometer with an accuracy of nanometer order[J]. 2007, (5): 748-750.
孙文科, 马骥驰, 李岩, 等. 基于F-P腔法的纳米精度非线性误差校准系统研究[J]. 光学技术, 2007,(5):748-750. DOI：

The study on nonlinear error calibrating system based on Fabry-Parot interferometer with an accuracy of nanometer order[J]. 2007, (5): 748-750. DOI：

为了研究可用于纳米、亚纳米精度的非线性误差校准系统

采用差拍F-P干涉法

在中国计量科学研究院研制的差拍F-P干涉仪基础上

设计并制作了适用于该系统的密封干涉光路的真空系统。通过与电容式测微仪的比对实验

证明了系统的抗干扰能力得到了改善

在大于半波长的测量范围内

系统的非线性度优于3.86nm。

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