用于非球面检测的计算全息设计及其精度分析

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光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 用于非球面检测的计算全息设计及其精度分析
- Design and error analysis of the CGH used for aspheric test
- 光学技术 2007年第5期页码：654-657
- 作者机构：
  
  1. 1:北京理工大学信息科学技术学院光电工程系
  2. 2:北京理工大学信息科学技术学院光电工程系
  3. 3:北京航空精密机械研究所精密制造技术航空科技重点实验室,北京,100081
  4. 4,北京,100081
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  武器装备预言基金项目(51464030304BQ0101)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2007
- 稿件说明：
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康果果, 谢敬辉, 刘祎. 用于非球面检测的计算全息设计及其精度分析[J]. 光学技术, 2007,(5):654-657.

Design and error analysis of the CGH used for aspheric test[J]. 2007, (5): 654-657.
康果果, 谢敬辉, 刘祎. 用于非球面检测的计算全息设计及其精度分析[J]. 光学技术, 2007,(5):654-657. DOI：

Design and error analysis of the CGH used for aspheric test[J]. 2007, (5): 654-657. DOI：

介绍了用于非球面检测计算全息(Computer-generated hologram

CGH)的设计方法和步骤

对CGH位相分布求取、载频选取、CGH与干涉仪配合校准所涉及的关键问题展开了讨论

提出了一些全新的设计理念和方法。从理论上定量分析了CGH片基面型误差、全息图样偏差、刻蚀深度不均匀性和线宽不均匀性对再现波面的影响

得出了相应的误差公式指导计算全息元件加工环节的公差分配。给出了一个设计实例

检测不确定度达到λ/20。

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