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1:兰州空间技术物理研究所表面工程技术国防科技重点实验室
纸质出版:2006
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秦洁玉, 罗崇泰, 马勉军, 等. 波长渐变滤光片的镀制[J]. 光学技术, 2006,32(S1):236-238.
The fabrication of linear variable filters[J]. 2006, 32(S1): 236-238.
秦洁玉, 罗崇泰, 马勉军, 等. 波长渐变滤光片的镀制[J]. 光学技术, 2006,32(S1):236-238. DOI:
The fabrication of linear variable filters[J]. 2006, 32(S1): 236-238. DOI:
采用常规的真空蒸发镀膜技术
利用自行设计制作的膜厚修正挡板机构
分别在1cm×3cm的条形K9玻璃基底和Si基底上镀制出了波长渐变滤光片。滤光片的波段范围从可见光区直至中红外区。阐述了波长渐变滤光片的镀制工艺及其结果
分析了在实际镀制中膜厚偏差产生的原因
提出了修正系统偏差的可行性方法。
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