磁控射频溅射三SnO<sub>2</sub>薄膜的气敏光学特性研究

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

磁控射频溅射三SnO₂薄膜的气敏光学特性研究

薄膜光学 | 更新时间：2025-09-01

- 磁控射频溅射三SnO₂薄膜的气敏光学特性研究
- Study of transmittance gas sensitive SnO₂ thin film prepared by magnetic reactive sputtering
- 光学技术 2007年第S1期页码：160-161
- 作者机构：
  
  1:华南理工大学物理科学与技术学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  广东省东莞石龙基金(123-E81340)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2007
- 稿件说明：
移动端阅览
冯金垣, 张华锋, 汪秀华. 磁控射频溅射三SnO₂薄膜的气敏光学特性研究[J]. 光学技术, 2007,(S1):160-161.

Study of transmittance gas sensitive SnO₂ thin film prepared by magnetic reactive sputtering[J]. 2007, (S1): 160-161.
冯金垣, 张华锋, 汪秀华. 磁控射频溅射三SnO₂薄膜的气敏光学特性研究[J]. 光学技术, 2007,(S1):160-161. DOI：

Study of transmittance gas sensitive SnO₂ thin film prepared by magnetic reactive sputtering[J]. 2007, (S1): 160-161. DOI：

采用磁控射频溅射在玻璃基片上制备SnO2薄膜

对采用不同工艺制备的薄膜进行了XRD和常温下的膜片在CO2、乙醇中的气敏光学特性与透射光谱测试。结果表明

该薄膜在常温下对测试气体有敏感效应

会引起透射光谱的变化

并且光谱透射率的变化与波长相关。

浏览量

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

C₂₇H₂₈O₅Br₂S薄膜在氨蒸汽中的气敏透过光谱特性的研究

SiO₂/TiO₂复合薄膜的制备及其可见光透过率

光在两单轴晶体间界面的反射和透射

光在光轴取向任意条件下的晶体表面透射率

透反射率自动化测量系统设计

磁控射频溅射三SnO2薄膜的气敏光学特性研究