基于MATLAB的表面三维微观形貌图像处理分析

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光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 基于MATLAB的表面三维微观形貌图像处理分析
- Surface 3D micro-topography analysis using image processing technology based on matlab
- 光学技术 2007年第S1期页码：104-105
- 作者机构：
  
  1:桂林电子科技大学电子工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  桂林电子科技大学测控专业教改项目
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2007
- 稿件说明：
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仲进安. 基于MATLAB的表面三维微观形貌图像处理分析[J]. 光学技术, 2007,(S1):104-105.

Surface 3D micro-topography analysis using image processing technology based on matlab[J]. 2007, (S1): 104-105.
仲进安. 基于MATLAB的表面三维微观形貌图像处理分析[J]. 光学技术, 2007,(S1):104-105. DOI：

Surface 3D micro-topography analysis using image processing technology based on matlab[J]. 2007, (S1): 104-105. DOI：

表面形貌影响光学元件的机械性能、物理性能、成品率;在特定应用场合下

通过检测光学元件表面三维微观形貌来检测光学元件的加工质量。将工件表面置于光学显微镜焦面上观测

如观测到工件表面某处存在明显缺陷

通过光学显微镜上下数次微移动

对工件表面该处采集多幅对焦图像并进行图像处理

根据处理结果判别工件是否符合加工要求。文中提出了一种基于MATLAB6.0高级语言编写的图像处理软件

实现对数幅对焦图像进行分析处理进而拟合出表面微观形貌的三维图形。

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