激光自混频干涉法测量表面粗糙度的研究

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激光自混频干涉法测量表面粗糙度的研究

光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 激光自混频干涉法测量表面粗糙度的研究
- Research about the method to measuring surface roughness on self-mixing interference in a diode laser
- 光学技术 2007年第S1期页码：42-43
- 作者机构：
  
  1:延边大学理工学院物理系
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2007
- 稿件说明：
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邵静波, 洪光. 激光自混频干涉法测量表面粗糙度的研究[J]. 光学技术, 2007,(S1):42-43.

Research about the method to measuring surface roughness on self-mixing interference in a diode laser[J]. 2007, (S1): 42-43.
邵静波, 洪光. 激光自混频干涉法测量表面粗糙度的研究[J]. 光学技术, 2007,(S1):42-43. DOI：

Research about the method to measuring surface roughness on self-mixing interference in a diode laser[J]. 2007, (S1): 42-43. DOI：

对半导体激光自混频干涉法测量表面粗糙度中的干涉效应进行了理论分析

推导了干涉信号与表面粗糙度的数学关系式

讨论了影响测量信号的因素及表征表面粗糙度的评定参数

即表面轮廓的方均根偏差。结果表明

随着加工表面粗糙度的降低

反射光的强度逐渐增加

被测物体表面的反射率越高

越有利于测量。

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