19.5nm极紫外反射镜的研制

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19.5nm极紫外反射镜的研制

薄膜光学 | 更新时间：2025-09-01

- 19.5nm极紫外反射镜的研制
- The design and fabrication of multilayer mirrors in EUV region
- 光学技术 2008年第3期页码：341-343
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  2. 2:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  3. 3:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春,130022
  4. 4:中国科学院研究生院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2008
- 稿件说明：
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赵伟, 袁宏韬, 缪同群. 19.5nm极紫外反射镜的研制[J]. 光学技术, 2008,(3):341-343.

The design and fabrication of multilayer mirrors in EUV region[J]. 2008, (3): 341-343.
赵伟, 袁宏韬, 缪同群. 19.5nm极紫外反射镜的研制[J]. 光学技术, 2008,(3):341-343. DOI：

The design and fabrication of multilayer mirrors in EUV region[J]. 2008, (3): 341-343. DOI：

介绍了一种用于太阳观测19.5nm极紫外多层膜的研究工作。利用软件对规整的Mo/Si膜系结构进行了优化

拓宽了反射带宽

提高了积分反射率。采用双离子束溅射技术

时间控厚

成功制备了该反射镜。通过同步辐射反射率计测试表明

峰值反射率27.5%

均匀性在1%以内

已初步达到预设要求。

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