基于波面剪切干涉原理测量微细台阶高度

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基于波面剪切干涉原理测量微细台阶高度

仪器、测量与计量 | 更新时间：2025-09-01

- 基于波面剪切干涉原理测量微细台阶高度
- The measurement of step height micro-topography based on wave cutting interference theory
- 光学技术 2008年第2期页码：244-245
- 作者机构：
  
  1. 1:北京理工大学信息科学技术学院光电工程系
  2. 2:北京控制与电子技术研究所
  3. 3:中国兵器科学研究院
  4. 4:北京理工大学信息科学技术学院光电工程系,北京,100081
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2008
- 稿件说明：
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惠梅, 邓年茂, 杨佩原, 等. 基于波面剪切干涉原理测量微细台阶高度[J]. 光学技术, 2008,(2):244-245.

The measurement of step height micro-topography based on wave cutting interference theory[J]. 2008, (2): 244-245.
惠梅, 邓年茂, 杨佩原, 等. 基于波面剪切干涉原理测量微细台阶高度[J]. 光学技术, 2008,(2):244-245. DOI：

The measurement of step height micro-topography based on wave cutting interference theory[J]. 2008, (2): 244-245. DOI：

提出了利用波面剪切干涉原理测量微细结构台阶高度的方法。通过在微分相衬干涉系统光路中加入偏振分光棱镜

实现了对光束的微分剪切及复合偏振。利用矩阵分析法建立了该测量系统的数学模型

根据探测到的光强信息图

由光强与干涉相位差间的关系式提取到了测量区域的相位分布值

由位相与待测物纵向深度间的转换关系式

经图像重建后通过计算得到了台阶的表面高度信息。

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