轻质碳化硅反射镜抛光过程镜面变形影响的研究

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光学工艺 | 更新时间：2025-09-01

- 轻质碳化硅反射镜抛光过程镜面变形影响的研究
- Research on the effect of optical facesheet deformation during polishing lightweight silicon carbide mirror
- 光学技术 2008年第4期页码：605-607
- 作者机构：
  
  1:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2008
- 稿件说明：
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张斌智, 杨利伟, 张峰, 等. 轻质碳化硅反射镜抛光过程镜面变形影响的研究[J]. 光学技术, 2008,(4):605-607.

Research on the effect of optical facesheet deformation during polishing lightweight silicon carbide mirror[J]. 2008, (4): 605-607.
张斌智, 杨利伟, 张峰, 等. 轻质碳化硅反射镜抛光过程镜面变形影响的研究[J]. 光学技术, 2008,(4):605-607. DOI：

Research on the effect of optical facesheet deformation during polishing lightweight silicon carbide mirror[J]. 2008, (4): 605-607. DOI：

轻量化的碳化硅反射镜有自己独特的结构特点

加工中的变形与传统实体反射镜不同

对加工后的面形结果有独特的影响。对一直径为318mm的轻量化碳化硅反射镜进行了传统的研磨抛光

由于镜面变形对抛光结果带来了很大的影响

其面形误差的RMS值在0.048λ(λ=0.6328μma)左右就不再收敛。对抛光状态的镜体进行了有限元分析

探讨了减轻镜面变形对抛光结果影响的方法。采用计算机控制小磨头对该反射镜进行了确定性抛光

有效地降低了镜面形变的影响

使面形满足了精度的要求。

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