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1:西安电子科技大学理学院
纸质出版:2008
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武颖丽, 吴振森. 合金钢材料光学常数的椭偏测量及其修正[J]. 光学技术, 2008,(5):772-773.
Measure optics constant of alloy steel with ellipsometry[J]. 2008, (5): 772-773.
武颖丽, 吴振森. 合金钢材料光学常数的椭偏测量及其修正[J]. 光学技术, 2008,(5):772-773. DOI:
Measure optics constant of alloy steel with ellipsometry[J]. 2008, (5): 772-773. DOI:
用椭偏法测量了入射光波长0.632μm、入射角50°至85°时某合金钢的光学常数。考虑材料表面的粗糙度
用Ohlidal-Lukes理论对所测光学常数值进行修正
发现椭偏参量的修正量随入射角增大而增大。结果表明
用椭偏法测量合金钢光学常数时采用较小入射角能获得更精确的样片光学常数。
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