原子沉积台控制系统实验研究

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原子沉积台控制系统实验研究

激光器与激光光学 | 更新时间：2025-09-01

- 原子沉积台控制系统实验研究
- Empircal study of the control system for deposition platform
- 光学技术 2008年34卷第S1期页码：261-262
- 作者机构：
  
  1. 1:北京理工大学光电学院
  2. 2:中国计量科学研究院量子部
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2008
- 稿件说明：
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罗思, 崔小虹, 钱进. 原子沉积台控制系统实验研究[J]. 光学技术, 2008,34(S1):261-262.

Empircal study of the control system for deposition platform[J]. 2008, 34(S1): 261-262.
罗思, 崔小虹, 钱进. 原子沉积台控制系统实验研究[J]. 光学技术, 2008,34(S1):261-262. DOI：

Empircal study of the control system for deposition platform[J]. 2008, 34(S1): 261-262. DOI：

研究了以稳定F-P腔腔长来控制原子沉积台与驻波光场之间相对位置的稳定性。在简要分析F-P腔工作原理的基础上

设计了F-P腔腔长锁定反馈控制系统。该系统以633nm稳频激光作为基准光源

通过光电转换、调制与解调、比例积分等控制环节

实现了将F-P腔的谐振频率锁定到基准光源的频率上。实验结果表明

锁定后的F-P腔腔长的稳定度达到了10-8以上

可满足原子光刻技术中对沉积台与驻波光场相对位置稳定的应用要求。

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