光刻胶全息光栅显影监测的模拟与实验

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光刻胶全息光栅显影监测的模拟与实验

光学工艺 | 更新时间：2025-09-01

- 光刻胶全息光栅显影监测的模拟与实验
- Simulation and experiments of monitoring curves on development of holographically recorded photoresist gratings
- 光学技术 2009年35卷第1期页码：41-44
- 作者机构：
  
  1. 1:南京信息职业技术学院微电子工程系
  2. 2:苏州大学信息光学工程研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  江苏省高技术研究计划资助项目(BG2004020);江苏省高校自然科学重大基础研究资助项目(07KJA51002)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2009
- 稿件说明：
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陈刚, 吴建宏, 刘全, 等. 光刻胶全息光栅显影监测的模拟与实验[J]. 光学技术, 2009,35(1):41-44.

Simulation and experiments of monitoring curves on development of holographically recorded photoresist gratings[J]. 2009, 35(1): 41-44.
陈刚, 吴建宏, 刘全, 等. 光刻胶全息光栅显影监测的模拟与实验[J]. 光学技术, 2009,35(1):41-44. DOI：

Simulation and experiments of monitoring curves on development of holographically recorded photoresist gratings[J]. 2009, 35(1): 41-44. DOI：

为了控制光刻胶全息光栅显影过程

建立了槽形演化和衍射效率模型

模拟了槽形演化和衍射效率曲线

分析了显影监测曲线的特征和规律。并将模拟槽形和实验槽形、模拟监测曲线和实验监测曲线进行对比

均很好地吻合。结果表明衍射效率的监测对把握显影过程停显时刻、控制掩摸槽形非常有效。

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