寄生虚反射对外差干涉椭偏测量的影响

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寄生虚反射对外差干涉椭偏测量的影响

光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 寄生虚反射对外差干涉椭偏测量的影响
- Influence of parasitic ghost reflection on measurement in a heterodyne interferometric ellipsometer
- 光学技术 2009年35卷第3期页码：415-418
- 作者机构：
  
  1. 1:深圳大学机电与控制工程学院
  2. 2:物理科学与技术学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  深圳市模具先进制造技术重点实验室开放基金资助项目;深圳科技计划资助项目(200721)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2009
- 稿件说明：
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邓元龙, 李学金, 柴金龙, 等. 寄生虚反射对外差干涉椭偏测量的影响[J]. 光学技术, 2009,35(3):415-418.

Influence of parasitic ghost reflection on measurement in a heterodyne interferometric ellipsometer[J]. 2009, 35(3): 415-418.
邓元龙, 李学金, 柴金龙, 等. 寄生虚反射对外差干涉椭偏测量的影响[J]. 光学技术, 2009,35(3):415-418. DOI：

Influence of parasitic ghost reflection on measurement in a heterodyne interferometric ellipsometer[J]. 2009, 35(3): 415-418. DOI：

研究了一种采用横向塞曼激光器并且没有任何运动部件的外差干涉椭偏测量系统。由非理想的激光源、偏振分光镜等器件所产生的非线性误差

是影响纳米测量精度的主要因素。采用琼斯矢量法

分析并建立了光学系统寄生虚反射所引入的误差模型

讨论了虚反射对误差漂移的影响。在不考虑其它误差因素的前提下

同一光路内部产生的同频率虚反射波对测量结果没有影响;而不同频率的参考光束与测量光束之间的交叉虚反射所产生的膜厚测量误差为亚纳米量级。讨论了消除和抑制虚反射误差的方法。

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