基于PZT的非球面能动抛光盘设计优化

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基于PZT的非球面能动抛光盘设计优化

光学工艺 | 更新时间：2025-09-01

- 基于PZT的非球面能动抛光盘设计优化
- Optimization design of PZT actuated deformable aspheric polishing lap
- 光学技术 2009年35卷第3期页码：367-369
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院成都光电所
  2. 2:中国科学院研究生院
  3. 3:烟台大学光电信息学院
  4. 4:苏州大学现代光学技术研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  863计划资助项目(2006AA02Z4D2);山东省重点实验室资助项目;烟台大学青年基金资助项目
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2009
- 稿件说明：
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胡自强, 凌宁, 潘君骅, 等. 基于PZT的非球面能动抛光盘设计优化[J]. 光学技术, 2009,35(3):367-369.

Optimization design of PZT actuated deformable aspheric polishing lap[J]. 2009, 35(3): 367-369.
胡自强, 凌宁, 潘君骅, 等. 基于PZT的非球面能动抛光盘设计优化[J]. 光学技术, 2009,35(3):367-369. DOI：

Optimization design of PZT actuated deformable aspheric polishing lap[J]. 2009, 35(3): 367-369. DOI：

基于PZT压电陶瓷驱动器的非球面能动抛光盘

能够在PZT驱动器的作用下改变面形

用于中小口径非球面镜加工。为优化设计基于PZT压电陶瓷驱动器的非球面能动抛光盘

利用有限元分析方法

计算各驱动器的影响函数

计算非球面能动抛光盘的输出面形

与理论面形比较得到剩余残差。以优化设计驱动器排布方式和极头直径为例

当非球面能动抛光盘中心到非球面工件中心的距离L为120mm

分别计算比较

极头直径为Φ10mm时

19单元PZT圆形排布与21单元PZT方形排布的剩余残差;以及19单元PZT圆形排布时

极头直径为Φ10mm与Φ14mm的剩余残差。结果表明

非球面能动抛光盘产生变形后的剩余残差RMS相应分别为0.303μm、0.367μm、0.328μm。因此

基于PZT压电陶瓷驱动器的非球面能动抛光盘确定选用19单元PZT圆形排布且极头直径Φ10mm。

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