基于波导管的无缝扫描光刻激光均束设计

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基于波导管的无缝扫描光刻激光均束设计

光学测量、光学仪器与光学设计 | 更新时间：2025-09-01

- 基于波导管的无缝扫描光刻激光均束设计
- Design of laser beam uniformity based on light-guide wall in seamless scanning lithography
- 光学技术 2009年35卷第4期页码：615-617
- 作者机构：
  
  1. 1:广东工业大学实验教学部
  2. 2:广东工业大学物理与光电工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  广东省自然科学基金资助项目(07001789);广东省科技计划资助项目(2007B010400071)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2009
- 稿件说明：
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裴文彦, 周金运, 梁国均, 等. 基于波导管的无缝扫描光刻激光均束设计[J]. 光学技术, 2009,35(4):615-617.

Design of laser beam uniformity based on light-guide wall in seamless scanning lithography[J]. 2009, 35(4): 615-617.
裴文彦, 周金运, 梁国均, 等. 基于波导管的无缝扫描光刻激光均束设计[J]. 光学技术, 2009,35(4):615-617. DOI：

Design of laser beam uniformity based on light-guide wall in seamless scanning lithography[J]. 2009, 35(4): 615-617. DOI：

351nm波长的准分子激光器由光波导管作为激光均束器

直接输出正六角形均匀分布的照明光束

能在大面积激光投影光刻中实现无缝扫描。同目前常用的微透镜阵列器相比制作简单

无须光阑就能直接获取所需要的六角形光束

减少了能量损失。通过合理的假设和理论推算

依据管内最大反射次数就能适当地选取光波导管的长度

既保证了足够的反射次数以维持良好的均匀性

同时又避免了不必要的管长所带来的更多反射损耗。利用ZEMAX光学设计软件模拟和分析了由光波导管输出的照明光。结果表明

输出的六角形光束的相对光通量为96%

近似于平顶的能量分布

呈现出了极好的均匀性。

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