一种同步移相干涉测量系统的误差研究

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一种同步移相干涉测量系统的误差研究

光学测量、光学仪器与光学设计 | 更新时间：2025-09-01

- 一种同步移相干涉测量系统的误差研究
- Errors researching for a simultaneous phase shifting interferometer
- 光学技术 2009年35卷第4期页码：536-540
- 作者机构：
  
  1. 1:江苏淮阴师范学院
  2. 2:南京理工大学
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2009
- 稿件说明：
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左芬, 陈磊. 一种同步移相干涉测量系统的误差研究[J]. 光学技术, 2009,35(4):536-540.

Errors researching for a simultaneous phase shifting interferometer[J]. 2009, 35(4): 536-540.
左芬, 陈磊. 一种同步移相干涉测量系统的误差研究[J]. 光学技术, 2009,35(4):536-540. DOI：

Errors researching for a simultaneous phase shifting interferometer[J]. 2009, 35(4): 536-540. DOI：

根据偏振光的琼斯矩阵理论

分析了一种基于二维光栅分光的同步移相干涉测量系统的工作原理。从干涉系统、分光系统以及移相系统三个部分详细研究了该系统的误差产生原因和作用机理

并针对各种误差源提出了相应的解决办法

为同步移相干涉测量系统中光学元件的选择、光路的调整及其误差的补偿提供了理论依据。结果表明

干涉部分的误差影响较小

可以通过光路的设计降低分光部分的误差;移相系统的误差最大

必须要对移相误差进行标定。

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