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1. 1:清华大学精仪系,北京,100084
2. 2:清华大学精仪系,北京,100084
3. 3:中国计量科学研究院,北京,100013
4. 4:中国计量科学研究院,北京,100013
纸质出版:2000
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余载泉, 徐毓娴, 徐毅, 等. 大范围高分辨率法-珀干涉仪[J]. 光学技术, 2000,(3):199-201.
Fabry-Parot interferometer with large range and high resolution[J]. 2000, (3): 199-201.
余载泉, 徐毓娴, 徐毅, 等. 大范围高分辨率法-珀干涉仪[J]. 光学技术, 2000,(3):199-201. DOI: 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.03.003.
Fabry-Parot interferometer with large range and high resolution[J]. 2000, (3): 199-201. DOI: 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.03.003.
法 珀干涉仪有较高的分辨率
但是由于受到激光器模间隔的限制
测量范围较小。介绍了使用换模锁定法对其进行扩展
实现了具有较大测量范围及纳米分辨率和测量精度的法 珀干涉仪
扩展了法 珀干涉仪的测量范围
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