遗传算法在椭圆偏振测量中的应用

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遗传算法在椭圆偏振测量中的应用

更新时间：2025-09-01

- 遗传算法在椭圆偏振测量中的应用
- Application of genetic algorithm in measurement with ellipsometer
- 光学技术 2000年第3期页码：277-280
- 作者机构：
  
  1. 1:华中理工大学电子科学与技术系,武汉,430074
  2. 2:华中理工大学电子科学与技术系,武汉,430074
  3. 3:华中理工大学电子科学与技术系,武汉,430074
  4. 4:华中理工大学电子科学与技术系,武汉,430074
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.03.029
  中图分类号：
- 纸质出版：2000
- 稿件说明：
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彭子龙, 李佐宜, 胡煜, 等. 遗传算法在椭圆偏振测量中的应用[J]. 光学技术, 2000,(3):277-280.

Application of genetic algorithm in measurement with ellipsometer[J]. 2000, (3): 277-280.
彭子龙, 李佐宜, 胡煜, 等. 遗传算法在椭圆偏振测量中的应用[J]. 光学技术, 2000,(3):277-280. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.03.029.

Application of genetic algorithm in measurement with ellipsometer[J]. 2000, (3): 277-280. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.03.029.

详细介绍了椭圆偏振法测量的基本原理和椭偏函数方程的建立

将遗传算法引入到椭偏法测试薄膜的折射率和厚度的计算中

改善了计算的收敛性并提高收敛速度。给出了计算程序流程图

重点分析了各遗传算子的设计。

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