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一种利用合成波长法实现的纳米测量方法
更新时间：2025-09-01

    • 一种利用合成波长法实现的纳米测量方法

    • Method of nanometer measurement using multi wavelengths interferometry

    • 光学技术   2000年第4期 页码：313-315

    • DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.04.006    

      中图分类号：

    • 纸质出版：2000

    移动端阅览

  • 程晓辉, 李达成, 赵洋. 一种利用合成波长法实现的纳米测量方法[J]. 光学技术, 2000,(4):313-315. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.04.006.

    Method of nanometer measurement using multi wavelengths interferometry[J]. 2000, (4): 313-315. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.04.006.

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