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1:中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
纸质出版:2000
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沈卫星. 相干滤波成像系统测量光学元件表面疵病[J]. 光学技术, 2000,(4):361-362.
Surface defects of the optical elements measured by the coherent filter imaging system[J]. 2000, (4): 361-362.
沈卫星. 相干滤波成像系统测量光学元件表面疵病[J]. 光学技术, 2000,(4):361-362. DOI: 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.04.023.
Surface defects of the optical elements measured by the coherent filter imaging system[J]. 2000, (4): 361-362. DOI: 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.04.023.
本文利用相干高通滤波成像系统对光学元件表面疵病进行了测量
提出了等效疵病面积的概念及计算公式
由等效疵病面积可计算出与 GB1185 - 89对应的疵病等级 J。实验装置的分辨率为 10μm
并具有可靠的表面疵病等级评价
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