双频激光在超精孔径测量中的应用

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双频激光在超精孔径测量中的应用

更新时间：2025-09-01

- 双频激光在超精孔径测量中的应用
- The application of double frequency laser on the ultra precision measuring system of diameter of aperture
- 光学技术 2000年第5期页码：435-436
- 作者机构：
  
  1. 1:哈尔滨工业大学自动化测试及控制系,哈尔滨,150001
  2. 2:哈尔滨工业大学自动化测试及控制系,哈尔滨,150001
  3. 3:哈尔滨工业大学自动化测试及控制系,哈尔滨,150001
  4. 4:哈尔滨工业大学自动化测试及控制系,哈尔滨,150001
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.05.016
  中图分类号：
- 纸质出版：2000
- 稿件说明：
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赵辉, 浦昭邦, 刘国栋, 等. 双频激光在超精孔径测量中的应用[J]. 光学技术, 2000,(5):435-436.

The application of double frequency laser on the ultra precision measuring system of diameter of aperture[J]. 2000, (5): 435-436.
赵辉, 浦昭邦, 刘国栋, 等. 双频激光在超精孔径测量中的应用[J]. 光学技术, 2000,(5):435-436. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.05.016.

The application of double frequency laser on the ultra precision measuring system of diameter of aperture[J]. 2000, (5): 435-436. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.05.016.

一种以激光波长为基准的小孔孔径超精测量系统

采用双频激光干涉技术、温度误差实时修正技术和符合阿贝原则的合理布局

在 8mm～ 5 0mm的范围内实现 0 .0 1μm的分辨力和 0 .1μm的测量精度。该方法已成功应用在惯性仪表零件孔径及垂直度的超精测量中。

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