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1. 1:中科院人工晶体研发中心,北京,100080
2. 2:中科院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130022
3. 3:中科院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130022
纸质出版:2000
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高宏刚, 陈斌, 陈琦. FP500型超精密锡磨盘平面研抛机的研制[J]. 光学技术, 2000,(6):486-488.
Development of FP500 ultra-precision flat tin lap polishing machine[J]. 2000, (6): 486-488.
高宏刚, 陈斌, 陈琦. FP500型超精密锡磨盘平面研抛机的研制[J]. 光学技术, 2000,(6):486-488. DOI: 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.06.003.
Development of FP500 ultra-precision flat tin lap polishing machine[J]. 2000, (6): 486-488. DOI: 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.06.003.
为减小在超光滑表面制造中对经验的依赖
为提高加工精度及重复精度
研制了采用锡磨盘的超精密平面研抛机。该机床集超精密车削与超精密研抛于一体
可以进行基于多种基本原理的超光滑研抛实验研究。介绍了超精密平面研抛机总体设计方案
主要包括机床的结构及精度设计的指导思想、关键部件的结构与驱动系统的方案选择以及机床的外部环境设计。
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CSCD
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