投影栅相位法轮廓测量的非线性误差分析

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投影栅相位法轮廓测量的非线性误差分析

光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 投影栅相位法轮廓测量的非线性误差分析
- The non-inear error analysis on profile measurement by projecting grating phase method
- 光学技术 2010年36卷第1期页码：102-105
- 作者机构：
  
  1. 1:北京科技大学机械工程学院
  2. 2:北京教育考试院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2010.01.004
  中图分类号：
- 纸质出版：2010
- 稿件说明：
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苏兰海, 余乐文, 马祥华, 等. 投影栅相位法轮廓测量的非线性误差分析[J]. 光学技术, 2010,36(1):102-105.

The non-inear error analysis on profile measurement by projecting grating phase method[J]. 2010, 36(1): 102-105.
苏兰海, 余乐文, 马祥华, 等. 投影栅相位法轮廓测量的非线性误差分析[J]. 光学技术, 2010,36(1):102-105. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2010.01.004.

The non-inear error analysis on profile measurement by projecting grating phase method[J]. 2010, 36(1): 102-105. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2010.01.004.

分析了投影栅相位法三维轮廓测量系统的非线性误差。建立了几何光学模型

从理论上推导出被测点的相对高度与像点坐标的关系

研究了系统结构参数改变引起的高度误差的变化。详细阐述了像点坐标误差和系统非线性误差对系统精度的影响

并给出了高度误差补偿方法。据此提出修正的非线性高度拟合公式

实验结果证明新拟合公式的优越性。

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