MOEMS陀螺谐振腔的闭环调整方案研究

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MOEMS陀螺谐振腔的闭环调整方案研究

仪器、测量与计量 | 更新时间：2025-09-01

- MOEMS陀螺谐振腔的闭环调整方案研究
- Researches on closed-loop adjustment of MOEMS gyroscope spatial resonator
- 光学技术 2010年36卷第2期页码：172-175
- 作者机构：
  
  1:北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2010.02.010
  中图分类号：
- 纸质出版：2010
- 稿件说明：
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刘惠兰, 潘在友, 刘欢, 等. MOEMS陀螺谐振腔的闭环调整方案研究[J]. 光学技术, 2010,36(2):172-175.

Researches on closed-loop adjustment of MOEMS gyroscope spatial resonator[J]. 2010, 36(2): 172-175.
刘惠兰, 潘在友, 刘欢, 等. MOEMS陀螺谐振腔的闭环调整方案研究[J]. 光学技术, 2010,36(2):172-175. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2010.02.010.

Researches on closed-loop adjustment of MOEMS gyroscope spatial resonator[J]. 2010, 36(2): 172-175. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2010.02.010.

谐振腔是MOEMS陀螺的关键器件

由于谐振腔具有相对失调特性

所以传统的调腔是以人工方式进行的。研究并提出了一种新型的可应用于微光机电(MOEMS)陀螺谐振腔的闭环调整方案

完成了基于机器视觉和PZT控制的闭环调整系统及调腔实验

得到了预期的效果

并进行了相关的分析。

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