软X射线掠射筒状反射镜镀镍磷合金的研究

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软X射线掠射筒状反射镜镀镍磷合金的研究

光学仪器与光学设计 | 更新时间：2025-09-01

- 软X射线掠射筒状反射镜镀镍磷合金的研究
- Research of electroless nickel-phosphorus alloys plating on the soft X-ray grazing incidence tube-shaped reflection mirror
- 光学技术 2010年36卷第5期页码：668-671
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
  2. 2:中国科学院研究生院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金(40674098,40974110)资助项目
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2010.05.002
  中图分类号：
- 纸质出版：2010
- 稿件说明：
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李顺, 巩岩, 张巍. 软X射线掠射筒状反射镜镀镍磷合金的研究[J]. 光学技术, 2010,36(5):668-671.

Research of electroless nickel-phosphorus alloys plating on the soft X-ray grazing incidence tube-shaped reflection mirror[J]. 2010, 36(5): 668-671.
李顺, 巩岩, 张巍. 软X射线掠射筒状反射镜镀镍磷合金的研究[J]. 光学技术, 2010,36(5):668-671. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2010.05.002.

Research of electroless nickel-phosphorus alloys plating on the soft X-ray grazing incidence tube-shaped reflection mirror[J]. 2010, 36(5): 668-671. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2010.05.002.

在软X射线掠射光学系统筒状反射镜的加工过程中

根据对反射镜内表面镍磷合金镀层的质量要求

采用镍盐还原法对筒状微晶玻璃反射镜的内表面进行了活化

并对在含有30g/LNiSO4.6H2O、30g/LNaH2PO2.H2O、25g/LNa(CH3COO).4H2O、18g/LC6H8O7、10mg/L添加剂的镀液中沉积镍磷合金镀层的工艺方法进行了探索。对得到的镍磷合金镀层的结合力、抗腐蚀能力等进行了测试。结果表明

采用此法镀制的镍磷合金镀层结合力达到4B级

耐蚀性好

能够满足光学精密抛光的要求。

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