基于超精密机床的光学自由曲面原位测量方法

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仪器、测量与计量 | 更新时间：2025-09-01

- 基于超精密机床的光学自由曲面原位测量方法
- In-situ measurement method based on ultra-precision machine for optical free-form surface
- 光学技术 2010年36卷第6期页码：829-833
- 作者机构：
  
  1. 1:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
  2. 2:天津微纳制造工程技术中心
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家863高技术研究发展计划(2009AA044305,2009AA044204)资助项目;国家自然基金重大研究计划(90923024,90923038)资助项目;国家外专局及教育部“111”引智计划“微米/纳米科学与技术引智基地”(B07014)的支持
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2010.06.007
  中图分类号：
- 纸质出版：2010
- 稿件说明：
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魏桂爽, 张效栋, 房丰洲, 等. 基于超精密机床的光学自由曲面原位测量方法[J]. 光学技术, 2010,36(6):829-833.

In-situ measurement method based on ultra-precision machine for optical free-form surface[J]. 2010, 36(6): 829-833.
魏桂爽, 张效栋, 房丰洲, 等. 基于超精密机床的光学自由曲面原位测量方法[J]. 光学技术, 2010,36(6):829-833. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2010.06.007.

In-situ measurement method based on ultra-precision machine for optical free-form surface[J]. 2010, 36(6): 829-833. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2010.06.007.

原位测量是提高光学自由曲面面形精度的重要手段

对于提高加工效率、实现加工过程自动化具有重要意义。由于面形的复杂性

光学自由曲面原位测量一直是超精密测量领域的难题。提出了一种基于超精密机床的光学自由曲面原位测量方法

测量系统由LVDT气浮式传感器、红宝石探针和数据采集部件组成

采用螺旋线方式进行加工及测量路径的设计

通过运动控制接口实现机床坐标和测量数据的实时同步采集

快速精确地获取测量数据。实验结果表明

所加工的双正弦自由曲面的面形误差在±0.5μm范围内。

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