非相干光反馈表面轮廓测量实验研究

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非相干光反馈表面轮廓测量实验研究

激光器与激光技术 | 更新时间：2025-09-01

- 非相干光反馈表面轮廓测量实验研究
- Experimental research on surface profile measuring system based on incoherent optical feedback
- 光学技术 2011年37卷第2期页码：148-152
- 作者机构：
  
  1:上海理工大学光电信息与计算机工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  上海市教委科研创新基金项目(09YZ223)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2011.02.005
  中图分类号：
- 纸质出版：2011
- 稿件说明：
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凌进中, 马军山, 许炯. 非相干光反馈表面轮廓测量实验研究[J]. 光学技术, 2011,37(2):148-152.

Experimental research on surface profile measuring system based on incoherent optical feedback[J]. 2011, 37(2): 148-152.
凌进中, 马军山, 许炯. 非相干光反馈表面轮廓测量实验研究[J]. 光学技术, 2011,37(2):148-152. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2011.02.005.

Experimental research on surface profile measuring system based on incoherent optical feedback[J]. 2011, 37(2): 148-152. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2011.02.005.

数值研究了非相干光反馈时半导体激光器输出功率随反馈系数的变化关系以及待测物体离焦量与反馈系数的关系。提出了基于非相干光反馈的表面轮廓测量系统

并实验验证了系统的可行性

完成了对一元硬币的二维平面扫描成像

并分析了实验结果中的误差以及可能影响测量结果的主要因素。

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