瑞奇-康芒两角度检测法的一种波像差解读方法

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 瑞奇-康芒两角度检测法的一种波像差解读方法
- Wavefront interpretation of Ritchey-Common test in two angular positions
- 光学技术 2011年37卷第3期页码：259-263
- 作者机构：
  
  1:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  财政部重大装备专项
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2011.03.001
  中图分类号：
- 纸质出版：2011
- 稿件说明：
移动端阅览
宣斌, 谢京江. 瑞奇-康芒两角度检测法的一种波像差解读方法[J]. 光学技术, 2011,37(3):259-263.

Wavefront interpretation of Ritchey-Common test in two angular positions[J]. 2011, 37(3): 259-263.
宣斌, 谢京江. 瑞奇-康芒两角度检测法的一种波像差解读方法[J]. 光学技术, 2011,37(3):259-263. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2011.03.001.

Wavefront interpretation of Ritchey-Common test in two angular positions[J]. 2011, 37(3): 259-263. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2011.03.001.

瑞奇-康芒法是大口径平面元件面形检测的有效方法。通过分析检测光瞳到被检平面的位置转换关系以及波像差到面形误差的幅值转换关系

分别对检测得到的波像差以及干涉仪离焦产生的Power进行转换处理

利用最小二乘法计算出瑞奇-康芒两角度检测时的干涉仪离焦量

从而获得被检平面的面形误差分布。实验部分给出了第4项到第37项泽尼克多项式分布形式的被检平面面形误差的仿真检测结果的误差分布

其峰谷值和均方根值的相对数值误差的平均值分别为6.22%和3.48%

相对分布误差的平均值分别为28.1%和14.4%;并给出了一个随机面形误差的仿真检测结果。此波像差解读方法不存在多项式拟合的误差

适用于任意形状的被检平面通光口径

具有较高的精度

达到了实际工程要求。

浏览量

180

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

L形光源大面积矩形探测光幕灵敏度空域分布分析

线扫描激光雷达光路的光机热集成优化设计

基于m×n长方腔谐振器设计的光子晶体帯阻滤波器

平面干涉仪参考镜误差标定方法

基于光纤激光环形腔的高频微弱振动信号检测系统