φ150mm菲索干涉仪球面标准具结构分析与设计

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

光学仪器与光学设计 | 更新时间：2025-09-01

- φ150mm菲索干涉仪球面标准具结构分析与设计
- Analysis and design for the structure of reference spheres mirror in φ150mm Fizeau interferometer
- 光学技术 2011年37卷第3期页码：275-278
- 作者机构：
  
  1:应用光学国家重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家科技重大专项-02专项基金资助(2009ZX02205)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2011.03.004
  中图分类号：
- 纸质出版：2011
- 稿件说明：
移动端阅览
田伟, 王平, 王汝冬, 等. φ150mm菲索干涉仪球面标准具结构分析与设计[J]. 光学技术, 2011,37(3):275-278.

Analysis and design for the structure of reference spheres mirror in φ150mm Fizeau interferometer[J]. 2011, 37(3): 275-278.
田伟, 王平, 王汝冬, 等. φ150mm菲索干涉仪球面标准具结构分析与设计[J]. 光学技术, 2011,37(3):275-278. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2011.03.004.

Analysis and design for the structure of reference spheres mirror in φ150mm Fizeau interferometer[J]. 2011, 37(3): 275-278. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2011.03.004.

在高精度的光学元件面形检测中

为了保证检测的精度

必须对高精度菲索干涉仪的标准镜的自重和温度变形进行严格地控制。针对高精度菲索干涉仪标准镜的精度要求

设计了一种新的标准镜装卡结构。采用有限元方法分析了标准镜在胶接方式下的表面变形情况

参考面表面变形峰谷(PV)值仅为9.6nm

均方根(RMS)值为2.1nm。同时对不同环境温度下参考面的变形进行了计算得出面形的峰谷值和均方根值。最后介绍球面标准具的装配过程。

浏览量

469

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

杠杆式GMM-FBG电流传感器的仿真设计

L形光源大面积矩形探测光幕灵敏度空域分布分析

线扫描激光雷达光路的光机热集成优化设计

基于m×n长方腔谐振器设计的光子晶体帯阻滤波器

基于光纤激光环形腔的高频微弱振动信号检测系统