衍射式光栅干涉测量系统发展现状及趋势

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

衍射式光栅干涉测量系统发展现状及趋势

光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 衍射式光栅干涉测量系统发展现状及趋势
- Research status and developing trends of diffraction grating interferometer measurement system
- 光学技术 2011年37卷第3期页码：313-316
- 作者机构：
  
  1:合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金(50805043)资助项目
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2011.03.009
  中图分类号：
- 纸质出版：2011
- 稿件说明：
移动端阅览
尚平, 夏豪杰, 费业泰. 衍射式光栅干涉测量系统发展现状及趋势[J]. 光学技术, 2011,37(3):313-316.

Research status and developing trends of diffraction grating interferometer measurement system[J]. 2011, 37(3): 313-316.
尚平, 夏豪杰, 费业泰. 衍射式光栅干涉测量系统发展现状及趋势[J]. 光学技术, 2011,37(3):313-316. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2011.03.009.

Research status and developing trends of diffraction grating interferometer measurement system[J]. 2011, 37(3): 313-316. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2011.03.009.

在车间条件下操作时

光栅干涉仪在测量精度方面优于He-Ne激光干涉仪。基于光栅干涉测量系统有一些特别的优点

导致其在高精密测量中用途不断增加。阐述了衍射式光栅干涉测量系统的工作原理和特点

同时详细总结了国际上生产和研究衍射光栅干涉测量系统的厂家和研究机构及他们的产品。并指出该系统的发展趋势和存在的问题

为衍射式光栅测量系统的研究和发展提供参考。

浏览量

718

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

透射波前测量中寄生条纹的产生原理及移除方法

基于彩色共焦的位移测量系统研究

用光栅的正负一级能量之比测量光栅参数的可行性研究

杠杆式GMM-FBG电流传感器的仿真设计

五棱镜扫描法检测大口径平行光管光束平行性