多用途、模块化哈特曼波前传感器的研制

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多用途、模块化哈特曼波前传感器的研制

光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 多用途、模块化哈特曼波前传感器的研制
- Develop of multi-application and modular Hartmann wavefront sensor
- 光学技术 2011年37卷第3期页码：362-365
- 作者机构：
  
  1:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2011.03.018
  中图分类号：
- 纸质出版：2011
- 稿件说明：
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李宏壮, 刘欣悦, 王志臣, 等. 多用途、模块化哈特曼波前传感器的研制[J]. 光学技术, 2011,37(3):362-365.

Develop of multi-application and modular Hartmann wavefront sensor[J]. 2011, 37(3): 362-365.
李宏壮, 刘欣悦, 王志臣, 等. 多用途、模块化哈特曼波前传感器的研制[J]. 光学技术, 2011,37(3):362-365. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2011.03.018.

Develop of multi-application and modular Hartmann wavefront sensor[J]. 2011, 37(3): 362-365. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2011.03.018.

分析了哈特曼传感器的主要设计指标

介绍了设计研制的一种多用途、模块化哈特曼传感器

通过将传感器的主要部件

包括光源、准直镜、分光棱镜、缩束光路、微透镜阵列及相机等进行模块化设计

根据不同需求

对各模块增减或更换

实现了一套传感器多种用途的应用。并用该传感器进行了系统波像差及光学元件面形检测实验

通过与Zygo干涉仪的测量结果对比

得出该传感器测量精度λ/50 RMS。

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