基于SPR的类铬型金属膜厚在线纳米测量研究

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光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 基于SPR的类铬型金属膜厚在线纳米测量研究
- Study on online nanomeasurement of metal film thickness as Cr based on SPR
- 光学技术 2012年38卷第1期页码：9-13
- 作者机构：
  
  1. 1:上海理工大学光电信息工程与计算机学院
  2. 2:上海市计量测试技术研究院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金项目(60908021);国家质检总局科技计划项目(2011QK099)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.01.001
  中图分类号：
- 纸质出版：2012
- 稿件说明：
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李艳敏, 李孟超, 刘芳芳, 等. 基于SPR的类铬型金属膜厚在线纳米测量研究[J]. 光学技术, 2012,38(1):9-13.

Study on online nanomeasurement of metal film thickness as Cr based on SPR[J]. 2012, 38(1): 9-13.
李艳敏, 李孟超, 刘芳芳, 等. 基于SPR的类铬型金属膜厚在线纳米测量研究[J]. 光学技术, 2012,38(1):9-13. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.01.001.

Study on online nanomeasurement of metal film thickness as Cr based on SPR[J]. 2012, 38(1): 9-13. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.01.001.

当具有足够大发散角的柱面光照射在匀厚金属薄膜表面时

由表面等离子体振荡产生的光反射率角分布是膜厚的函数

用CCD接收反射光分布信息并经过计算机分析处理

可实时、在线测量10nm内的铬、钛等金属膜厚

这类金属的复介电常数的实部相对虚部是较小的负数

故具有强反射锐峰及较平坦的吸收峰

该两峰点可作为膜厚测量依据的特征标记点

并通过建库进行曲线匹配而获得膜厚数值。实验结果表明

该方法的平均测量误差可低于0.4nm。

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