基于彩色共焦的位移测量系统研究

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基于彩色共焦的位移测量系统研究

光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 基于彩色共焦的位移测量系统研究
- Research of displacement measurement system based on chromatic confocal
- 光学技术 2012年38卷第1期页码：83-88
- 作者机构：
  
  1:北京信息科技大学光电信息与通信工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  北京市属高等学校人才强教计划资助项目(PHR201107130)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.01.013
  中图分类号：
- 纸质出版：2012
- 稿件说明：
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高鑫, 邓文怡, 牛春晖. 基于彩色共焦的位移测量系统研究[J]. 光学技术, 2012,38(1):83-88.

Research of displacement measurement system based on chromatic confocal[J]. 2012, 38(1): 83-88.
高鑫, 邓文怡, 牛春晖. 基于彩色共焦的位移测量系统研究[J]. 光学技术, 2012,38(1):83-88. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.01.013.

Research of displacement measurement system based on chromatic confocal[J]. 2012, 38(1): 83-88. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.01.013.

为实现小型化、非接触式、快速高精度的位移测量

设计并搭建了基于光学彩色共焦原理的位移测量系统。系统中数据拟合采用的方法是

对光谱响应函数极值周围的数据进行高斯叠加拟合

以获得光谱响应曲线的峰值

从而得到峰值所对应的波长。经过实验验证

系统的测量范围为2mm

测量精度可以达到10μm

线性度为3.4%

光谱响应的半高宽(FWHM)为49nm。因此能够满足一定精度的位移测量需求。

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