MEMS微变形镜测试技术及算法研究

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

MEMS微变形镜测试技术及算法研究

光学测量、信息光学与图像处理 | 更新时间：2025-09-01

- MEMS微变形镜测试技术及算法研究
- Research on testing technique and algorithm for MEMS deformable mirrors
- 光学技术 2012年38卷第2期页码：185-190
- 作者机构：
  
  1:中南民族大学电子信息工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  航天支撑技术基金项目(041.3JW05);中南民族大学自然科学基金(YZY06003)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.02.008
  中图分类号：
- 纸质出版：2012
- 稿件说明：
移动端阅览
陈家凤, 肖风华. MEMS微变形镜测试技术及算法研究[J]. 光学技术, 2012,38(2):185-190.

Research on testing technique and algorithm for MEMS deformable mirrors[J]. 2012, 38(2): 185-190.
陈家凤, 肖风华. MEMS微变形镜测试技术及算法研究[J]. 光学技术, 2012,38(2):185-190. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.02.008.

Research on testing technique and algorithm for MEMS deformable mirrors[J]. 2012, 38(2): 185-190. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.02.008.

介绍了基于计算机控制的频闪显微干涉测量技术

实现了对MEMS微变形镜的表面形貌、离面变形、静态电压-位移曲线和谐振频率的测量。采用频闪成像、计算机微视觉技术以及基于最小二乘曲面拟合法的亚像素定位技术实现了对平面内微位移的测量;利用频闪成像以及5步相移干涉技术实现了对干涉相位的提取

建立了适合于MEMS微变形镜特性测试的相位解缠算法

恢复了代表被测物体表面形貌的真实相位

实现了微变形镜静动态特性的测试。测试结果表明:频闪显微相移干涉测量技术具有测量速度快、精度高、易实现自动控制等特点。

浏览量

168

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

基于自适应加权窗口的相位质量图提取

基于小波变换的最小二乘相位解缠算法

五棱镜扫描法检测大口径平行光管光束平行性

杠杆式GMM-FBG电流传感器的仿真设计

光学装调中的一种基于猫眼效应的焦距测试方法