紫外衍射微透镜阵列的设计与制备

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紫外衍射微透镜阵列的设计与制备

光学仪器与光学设计 | 更新时间：2025-09-01

- 紫外衍射微透镜阵列的设计与制备
- Design and fabrication of ultraviolet diffractive microlens array
- 光学技术 2012年38卷第3期页码：263-267
- 作者机构：
  
  1. 1:上海理工大学光电信息与计算机工程学院
  2. 2:上海市现代光学系统重点实验室
  3. 3:五邑大学薄膜与纳米材料研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家高技术研究发展计划(863计划)专题课题资助项目(2006AA03Z348);教育部科学技术研究重点项目(207033);上海市科学技术委员会科技攻关计划项目(06DZ11415);上海市教育委员会科研创新重点项目(10ZZ94);上海市研究生创新基金资助项目(JWCXSL1001)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.03.002
  中图分类号：
- 纸质出版：2012
- 稿件说明：
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张宇明, 李毅, 孙若曦, 等. 紫外衍射微透镜阵列的设计与制备[J]. 光学技术, 2012,38(3):263-267.

Design and fabrication of ultraviolet diffractive microlens array[J]. 2012, 38(3): 263-267.
张宇明, 李毅, 孙若曦, 等. 紫外衍射微透镜阵列的设计与制备[J]. 光学技术, 2012,38(3):263-267. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.03.002.

Design and fabrication of ultraviolet diffractive microlens array[J]. 2012, 38(3): 263-267. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.03.002.

为了提高紫外焦平面阵列的填充因子

可以通过微透镜阵列与紫外焦平面阵列的集成

以改善紫外焦平面阵列的探测性能。根据标量衍射理论设计了用于日盲型紫外焦平面阵列的128×128衍射微透镜阵列

其工作中心波长为350nm

单元透镜F数为F/3.56。采用组合多层镀膜与剥离的工艺方法制备了128×128衍射微透镜阵列

对具体的工艺流程和制备误差进行了分析

测量了衍射微透镜阵列的光学性能。实验结果表明:衍射微透镜阵列的衍射效率为88%

与理论值95%有偏差

制备误差主要来自对准误差和线宽误差。紫外衍射微透镜阵列具有均匀的焦斑分布

与紫外焦平面阵列单片集成能较好地改善器件的整体性能。

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