机械手修正大口径非球面环带误差

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机械手修正大口径非球面环带误差

光学工艺 | 更新时间：2025-09-01

- 机械手修正大口径非球面环带误差
- Zonal error removal for large aspheric by manipulator
- 光学技术 2012年38卷第3期页码：273-278
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院光电技术研究所
  2. 2:中国科学院研究生院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.03.003
  中图分类号：
- 纸质出版：2012
- 稿件说明：
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张伟, 曾志革, 伍凡. 机械手修正大口径非球面环带误差[J]. 光学技术, 2012,38(3):273-278.

Zonal error removal for large aspheric by manipulator[J]. 2012, 38(3): 273-278.
张伟, 曾志革, 伍凡. 机械手修正大口径非球面环带误差[J]. 光学技术, 2012,38(3):273-278. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.03.003.

Zonal error removal for large aspheric by manipulator[J]. 2012, 38(3): 273-278. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.03.003.

在大口径非球面加工中

采用能动磨盘进行加工

加工效率较高

但能动磨盘加工也会存在着些问题

如严重的边缘效应因为磨盘和工件不能完全的吻合

加工后会存在环带误差和局部误差

表现为镜面的误差分布不对称

也就是通常所说的存在着严重的慧差。在能动磨盘加工后

可以采用机械手小工具对工件的环带进行平滑去除镜面局部高点

修正镜面环带误差

使得镜面误差成对称分布

可以更好地利用能动磨盘进行加工。介绍了机械手小工具的结构

通过实际的加工情况建立小工具磨盘的去除函数模型

并进行了仿真计算。通过与实际去除环带的实验对比

理论仿真和实际加工吻合较好

取得了显著的修正效果。

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