像散法离焦检测中的像散透镜参数设计

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像散法离焦检测中的像散透镜参数设计

光学仪器与光学设计 | 更新时间：2025-09-01

- 像散法离焦检测中的像散透镜参数设计
- Design for parameters of astigmatic lens in defocus detection based on astigmatic method
- 光学技术 2012年38卷第4期页码：435-440
- 作者机构：
  
  1. 1:上海理工大学光电信息与计算机工程学院教育部光学仪器与系统工程研究中心
  2. 2:上海市现代光学系统重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金(61178079);霍英东教育基金会青年教师基金(121010);高等学校全国优秀博士学位论文作者资助项目(201033);上海市重点学科项目第三期项目(S30502);上海市研究生创新基金项目(JWCXSL1202)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.04.019
  中图分类号：
- 纸质出版：2012
- 稿件说明：
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田毅强, 蒋庭佳, 高鹏飞, 等. 像散法离焦检测中的像散透镜参数设计[J]. 光学技术, 2012,38(4):435-440.

Design for parameters of astigmatic lens in defocus detection based on astigmatic method[J]. 2012, 38(4): 435-440.
田毅强, 蒋庭佳, 高鹏飞, 等. 像散法离焦检测中的像散透镜参数设计[J]. 光学技术, 2012,38(4):435-440. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.04.019.

Design for parameters of astigmatic lens in defocus detection based on astigmatic method[J]. 2012, 38(4): 435-440. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.04.019.

推导出了离焦量与聚焦误差信号功率的关系式。利用MATLAB软件仿真

详细分析了像散透镜系统各个参数对离焦量、灵敏度、光斑大小等的影响

得到了像散圆透镜与像散柱透镜焦距之间的距离关系。结果发现聚焦物镜和探测器参数对最小离焦量、灵敏度、精度有决定性的影响。提出了像散透镜系统各光学参数选择的原则和方法

并以德国Silicon Sensor公司的QP50-6型四象限探测器为例

详细分析了离焦量与聚焦误差信号功率的线性关系。这些工作对建立满足应用对象要求的像散法离焦检测系统具有重要的指导意义。

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