光谱共焦测量系统中的色散透镜组设计

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光谱共焦测量系统中的色散透镜组设计

光学仪器与光学设计 | 更新时间：2025-09-01

- 光谱共焦测量系统中的色散透镜组设计
- Design of dispersive lens group for chromatic confocal measuring system
- 光学技术 2012年38卷第6期页码：660-664
- 作者机构：
  
  1:北京信息科技大学
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  北京市教委科研计划项目“基于扫描色散共焦显微术的三维表面形貌测量”(SQKM201211232006)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.06.004
  中图分类号：
- 纸质出版：2012
- 稿件说明：
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金博石, 邓文怡, 牛春晖, 等. 光谱共焦测量系统中的色散透镜组设计[J]. 光学技术, 2012,38(6):660-664.

Design of dispersive lens group for chromatic confocal measuring system[J]. 2012, 38(6): 660-664.
金博石, 邓文怡, 牛春晖, 等. 光谱共焦测量系统中的色散透镜组设计[J]. 光学技术, 2012,38(6):660-664. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.06.004.

Design of dispersive lens group for chromatic confocal measuring system[J]. 2012, 38(6): 660-664. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.06.004.

光谱共焦位移测量系统具有精度高、质量轻、体积小和灵敏高等优点

可以实现在各种极端情况下的微位移测量。在光谱共焦测量系统中色散透镜组的色散特性决定了整个测量系统的性能。对色散透镜组的测量需求进行了分析

提出了详细的设计指标

基于折射、衍射两种方法对透镜组进行了设计和优化

给出了设计结果。色散透镜组的色散范围为2.2mm

光谱范围为500～700nm

线性度较好。利用分辨率为0.5nm的光谱仪接收光谱信息

理论上精度优于2μm。

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