全自动在线六维纳米测量系统

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

全自动在线六维纳米测量系统

光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 全自动在线六维纳米测量系统
- Automatic 6-dimensional nano-measuring instrument
- 光学技术 2013年39卷第1期页码：33-36
- 作者机构：
  
  1:上海理工大学光电信息与计算机工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(51075280);上海市教委重点学科第五期(J50505)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2013.01.006
  中图分类号：
- 纸质出版：2013
- 稿件说明：
移动端阅览
胡凯, 侯文玫, 句爱松, 等. 全自动在线六维纳米测量系统[J]. 光学技术, 2013,39(1):33-36.

Automatic 6-dimensional nano-measuring instrument[J]. 2013, 39(1): 33-36.
胡凯, 侯文玫, 句爱松, 等. 全自动在线六维纳米测量系统[J]. 光学技术, 2013,39(1):33-36. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2013.01.006.

Automatic 6-dimensional nano-measuring instrument[J]. 2013, 39(1): 33-36. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2013.01.006.

介绍了一种用于在线检测纳米定位平台的全自动六维纳米测量系统。提出了整波长干涉测量方法

可以避免激光干涉仪的非线性影响

使系统能够得到准确校准

达到纳米级精度。该测量系统可以测定6个自由度

三维直线运动测量范围为100μm×100μm×100μm

分辨率能够达到1nm以下。

浏览量

112

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

炮管内径测量仪校准装置研究及不确定度分析

杠杆式GMM-FBG电流传感器的仿真设计

五棱镜扫描法检测大口径平行光管光束平行性

光学装调中的一种基于猫眼效应的焦距测试方法

基于微粒示踪的燃烧尾喷流速场测量方法研究