一种大相对孔径凸抛物面检验方法的研究

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一种大相对孔径凸抛物面检验方法的研究

光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 一种大相对孔径凸抛物面检验方法的研究
- Research on testing of convex parabolic surface with large relative aperture
- 光学技术 2013年39卷第3期页码：212-216
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院南京天文仪器有限公司
  2. 2:中国科学院研究生院
  3. 3:中国科学院南京天文仪器研制中心
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2013.03.004
  中图分类号：
- 纸质出版：2013
- 稿件说明：
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胡明勇, 余俊, 穆永吉, 等. 一种大相对孔径凸抛物面检验方法的研究[J]. 光学技术, 2013,39(3):212-216.

Research on testing of convex parabolic surface with large relative aperture[J]. 2013, 39(3): 212-216.
胡明勇, 余俊, 穆永吉, 等. 一种大相对孔径凸抛物面检验方法的研究[J]. 光学技术, 2013,39(3):212-216. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2013.03.004.

Research on testing of convex parabolic surface with large relative aperture[J]. 2013, 39(3): 212-216. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2013.03.004.

大口径凸非球面检验是非球面镜制造领域的难题之一。结合项目中一块相对孔径F/0.75

口径为332mm凸抛物面副镜的研制实例

在分析传统检验方法优缺点及适用性后

针对性地提出了一种类Offner透射补偿检验的新方法。基于三级像差理论出发求解其初始结构

使用Zemax软件分析与优化

从设计结果上看

此方法补偿精度很高

有效地补偿了非球面的法线像差。用蒙特卡洛方法分析给出公差分配方案

并研制出类Offner透射补偿器

用于凸抛物面镜的面型检验

表明此检验方法是完全可行的。实际加工完成后

用4D干涉仪检测镜面的面形精度达到RMS=0.0183λ优于λ/50(λ=632.8nm)。

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