三坐标轮廓测量仪测量离轴非球面的数据处理

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仪器、测量与计量 | 更新时间：2025-09-01

- 三坐标轮廓测量仪测量离轴非球面的数据处理
- Data processing of off-axis aspheric surface measurement by coordinate contour measuring machine
- 光学技术 2013年39卷第4期页码：291-296
- 作者机构：
  
  1:苏州大学现代光学技术研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(60978045);江苏省高校优势学科建设工程资助项目
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2013.04.001
  中图分类号：
- 纸质出版：2013
- 稿件说明：
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王建明, 郭培基, 仇谷烽. 三坐标轮廓测量仪测量离轴非球面的数据处理[J]. 光学技术, 2013,39(4):291-296.

Data processing of off-axis aspheric surface measurement by coordinate contour measuring machine[J]. 2013, 39(4): 291-296.
王建明, 郭培基, 仇谷烽. 三坐标轮廓测量仪测量离轴非球面的数据处理[J]. 光学技术, 2013,39(4):291-296. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2013.04.001.

Data processing of off-axis aspheric surface measurement by coordinate contour measuring machine[J]. 2013, 39(4): 291-296. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2013.04.001.

为了研究三坐标轮廓测量仪测量离轴非球面的数据处理

介绍了三坐标轮廓测量仪测量离轴非球面的原理

对除三坐标测量仪自身误差之外的误差进行了详细的分析

在此基础上建立了校正这些误差的离轴非球面数据处理模型。使用Matlab与C语言混合编程

并进行了数据模拟

对实际离轴非球面进行了测量。在对离轴非球面数据进行模拟时

面形误差PV值小于0.001μm;实际应用时

面形误差PV值约为0.245μm

利用数据处理模型得到的面形误差PV值为1.2μm

达到了三坐标轮廓测量仪本身的测量精度。结果表明

所建立的数据处理模型和处理软件是正确的。

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