像散离焦检测系统中光斑能量中心偏移对测量精度的影响

蒋庭佳; 姜曼; 阮斌; 陶振强; 贾南南; 郭汉明

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2013.06.001

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像散离焦检测系统中光斑能量中心偏移对测量精度的影响

光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 像散离焦检测系统中光斑能量中心偏移对测量精度的影响
- Effect of the center deviation of focusing spot on the measurement precision in the astigmatic defocus detecting system
- 光学技术 2013年39卷第6期页码：483-487
- 作者机构：
  
  1. 1:上海理工大学光电信息与计算机工程院
  2. 2:教育部光学仪器与系统工程研究中心
  3. 3:上海市现代光学系统重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金(61178079);霍英东教育基金会青年教师基金(121010);高等学校全国优秀博士学位论文作者资助项目(201033);上海市重点学科项目第三期项目(S30502);上海市研究生创新基金项目(JWCXSL1202)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2013.06.001
  中图分类号：
- 纸质出版：2013
- 稿件说明：
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蒋庭佳, 姜曼, 阮斌, 等. 像散离焦检测系统中光斑能量中心偏移对测量精度的影响[J]. 光学技术, 2013,39(6):483-487.

Effect of the center deviation of focusing spot on the measurement precision in the astigmatic defocus detecting system[J]. 2013, 39(6): 483-487.
蒋庭佳, 姜曼, 阮斌, 等. 像散离焦检测系统中光斑能量中心偏移对测量精度的影响[J]. 光学技术, 2013,39(6):483-487. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2013.06.001.

Effect of the center deviation of focusing spot on the measurement precision in the astigmatic defocus detecting system[J]. 2013, 39(6): 483-487. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2013.06.001.

摘要

通过推导高斯光条件下像散离焦检测系统中离焦量与聚焦误差信号功率之间的关系

分析了激光光斑能量中心相对四象限探测器几何中心的偏移距离和偏移角对离焦量测量精度的影响及其规律。在此基础上

提出了一种易于实现、能够精确定位四象限探测器的实验方法

该方法能够有效地提升系统抗干扰能力和探测精度

减小系统误差

加强系统稳定性。此过程对设计搭建高精度像散离焦检测系统具有重要的指导意义。

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Effect of the center deviation of focusing spot on the measurement precision in the astigmatic defocus detecting system

DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2013.06.001

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