基于显微光杠杆技术的微结构偏转角测量系统

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光学测量 | 更新时间：2025-09-01

- 基于显微光杠杆技术的微结构偏转角测量系统
- Deflection angle measurement system for microstructure based on microscope optical lever
- 光学技术 2014年40卷第3期页码：219-224
- 作者机构：
  
  1:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金(61204117,51075297);863计划项目(2012AA041204)
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2014.03.006
  中图分类号：
- 纸质出版：2014
- 稿件说明：
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刘璐, 李艳宁, 吴森, 等. 基于显微光杠杆技术的微结构偏转角测量系统[J]. 光学技术, 2014,40(3):219-224.

Deflection angle measurement system for microstructure based on microscope optical lever[J]. 2014, 40(3): 219-224.
刘璐, 李艳宁, 吴森, 等. 基于显微光杠杆技术的微结构偏转角测量系统[J]. 光学技术, 2014,40(3):219-224. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2014.03.006.

Deflection angle measurement system for microstructure based on microscope optical lever[J]. 2014, 40(3): 219-224. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2014.03.006.

针对微结构的偏转角度测试需求

设计并搭建了一套基于显微光杠杆技术的角度测量系统。该系统将光杠杆光路与无限共轭显微光路相结合

所得聚焦光斑直径小于10μm;采用电流模式电路处理四象限探测器输出信号

系统理论带宽超过5MHz;系统对微结构的转角测量分辨力和理论量程分别可达1.2″和±4°。利用该系统测量了原子力显微镜微悬臂梁探针在步进载荷下的偏转情况

测量结果与铁摩辛柯梁理论计算一致

验证了系统的可靠性。

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